Архив
Редакция журнала «Вестник МГТУ» поддерживает политику открытого доступа «Open Access», что позволяет пользователям бесплатно и неограниченно использовать тексты научных статей (читать, загружать, копировать, распространять) при условии указания авторства.
Шахмаева А.Р., Захарова П.Р., Фейламазова С.А.
Осаждение металлов в нанопоры кремния при формировании стоковой области силового транзистора
Аннотация. В работе исследовано нанесение металлов в нанопоры кремния, образованные в результате проведения пескоструйной обработки при формировании контакта со стоковой областью транзисторной структуры. Приведены результаты исследования подложки кремниевой структуры при осаждении в нанопоры кремния композиции "хром – никель – олово – серебро". Исследования проводились на сканирующем электронном рентгеновском микроанализаторе и рентгеновском микродифрактометре. Показано, что полученные нанопоры улучшают адгезионные свойства поверхности кремниевой подложки.
Ключевые слова: нанопора, осаждение, адгезия, кристалл, транзистор; nanosize pore, thickening, adhesion, crystal, crystal triode
Печатная ссылка: Шахмаева А.Р., Захарова П.Р., Фейламазова С.А. Осаждение металлов в нанопоры кремния при формировании стоковой области силового транзистора // Вестник МГТУ. 2013. Т. 16, № 1. C. 176-178.
Электронная ссылка: Шахмаева А.Р., Захарова П.Р., Фейламазова С.А. Осаждение металлов в нанопоры кремния при формировании стоковой области силового транзистора // Вестник МГТУ. 2013. Т. 16, № 1. C. 176-178. URL: https://vestnik.mauniver.ru/v16_1_n51/176_178_shakh.pdf.
(на русск., cтр.3, рис. 3, ссылок 2, Adobe PDF )
